진공발생용 밸브의 응답성을 최고의 수준까지 향상시켜서 진공시스템의 하이 사이클화를 실현하였습니다.
진공발생용 밸브는 진공보호유지형 (더블 밸브) 타입과 상시폐 (상시閉 : N.C.)타입의 선택이 가능합니다.
반도체장비 및 고속구동 장비에 적합한 경량, 소형의 진공발생기입니다.
고정방법은 본체 취부홀을 이용하여 고정시키는 직접 취부형과 DIN 레일에 취부가능한 DIN 레일 취부형이 있으므로
사용 용도에 맞는 제품을 선택할 수 있습니다.
진공센서는 시인성(視認性)이 좋은 LED 표시형 디지털 센서와 가격이 저렴한 아날로그 센서가 준비되어 있습니다.
동계금속미사용·저농도오존대책 을 필요로 하는 분야의 사양이 준비되어 있습니다.
에어 유로의 금속재질은 동계금속미사용, 씰 고무 및 가동부의 윤활은 저농도오존 대응, 초건조에어 대응을 고려하였습니다.